磁控濺射靶材公司濺射是一種先進(jìn)的薄膜材料制備技術(shù), 它利用離子源產(chǎn)生的離子, 在真空中加速聚集成高速離子流, 轟擊固體表面, 離子和固體表面的原子發(fā)生動能交換, 使固體表面的原子離開靶材并沉積在基材表面, 從而形成納米(或微米)薄膜。而被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料, 稱為濺射靶材。鎢鉬濺射靶可在各類基材上形成薄膜, 這種濺射膜廣泛用作電子部件和電子產(chǎn)品, 如目前廣泛應(yīng)用的TFT - LCD ( Thin Film Transitor- Liqu id C rysta l Displays, 薄膜半導(dǎo)體管-液晶顯示器)、等離子顯示屏、無機(jī)光發(fā) 射二極管顯示器、場發(fā) 射顯示器、薄膜太陽能電池、傳感器、半導(dǎo)體裝置以及具有可調(diào)諧功函數(shù)CMOS(互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)的場效應(yīng)晶體管柵極等 ?！　『饬堪胁牡馁|(zhì)量主要因素有 純度、致密度、晶粒尺寸及分布等。　　為保證靶材質(zhì)量，洛陽愛科麥采用以下技術(shù)， 　?。?）選擇高純鉬粉作為原料； 　?。?）快速致密化的成形燒結(jié)技術(shù), 以保證靶材的低孔隙率, 并控制晶粒度； 　?。?）制備過程嚴(yán)格控制雜質(zhì)元素的引入； 　?。?）對部分高要求產(chǎn)品采用熱等靜壓方法，此方法制得的鉬鈮靶材了95％～99％的極高密度細(xì)晶粒產(chǎn)品。?　　此外，愛科麥生產(chǎn)的靶材的能力還有以下優(yōu)勢：　　1.產(chǎn)品大型化 生產(chǎn)出了單張尺寸規(guī)格為1130mm *1200mm *10mm適合于G4.5代TFT鍍膜設(shè)備的鉬合金靶材?！　?.為適應(yīng)市場提高靶材利用率需求，可制造長度超過3米的旋轉(zhuǎn)靶材。磁控濺射靶材公司